8 Inch 25 Slot Visual Metal Wafer Cassette được sử dụng trong ngành công nghiệp công nghệ đóng gói bán dẫn

8 Inch 25 Slot Visual Metal Wafer Cassette được sử dụng trong ngành công nghiệp công nghệ đóng gói bán dẫn

Được thiết kế từ hợp kim nhôm, băng cassette wafer kim loại cung cấp độ bền vượt trội cho việc sử dụng trong phòng sạch.

Đặc điểm:

1. nhôm chống mòn, mịn, lớp phủ cứng.

2Chống nhiệt lên đến 350 °C (Al).

3Mở cửa dễ dàng.

4Thiết kế theo tiêu chuẩn ngành công nghiệp bán dẫn.

Ứng dụng:

1Trong môi trường quá trình nhiệt, miếng mềm được xử lý trong một hộp cassette ở nhiệt độ vượt quá 110 ° F (43 ° C), giới hạn trên của ngưỡng cấu trúc điển hình cho các hộp cassette quá trình nhựa.

Điều này bao gồm lắng đọng hơi nước hóa học (CVD), xử lý nhiệt nhanh (RTP) và các ứng dụng nung wafer.
Bakeout - Các ứng dụng nướng nhiệt lâu dài, nơi các miếng bánh cần phải được để trong lò nướng trong nhiều ngày.

2Thiết bị xử lý khi nhiệt độ chèn wafer (wafer được loại bỏ khỏi công cụ xử lý) vượt quá điểm nóng chảy của vỏ nhựa.

Nhu cầu thông lượng cao hơn làm giảm thời gian cho các wafer để làm mát và thích nghi trong buồng.

3. Môi trường nội bộ Cassette - Môi trường tự động hóa công cụ cụm trong đó các cassette không hoạt động trong môi trường chân không nóng (phòng) cho nhiều bước quy trình.

4Các yêu cầu về chất mang chính xác - Môi trường tự động trong nhiệt độ vừa phải đòi hỏi độ chính xác kích thước mà băng nhựa không thể cung cấp.

Việc xử lý miếng miếng mỏng - Trong quá trình xử lý miếng mỏng, các miếng mỏng sắc nét được cắt vào vỏ nhựa.Thick Wafer - Ứng dụng gắn kết hoặc wafer dày mà các băng nhựa tiêu chuẩn trong ngành không thể được sử dụng do kích thước khe cắm.

Tùy chỉnh có sẵn theo yêu cầu.

Các cấu hình tùy chỉnh có sẵn (số lượng đặt hàng tối thiểu có thể áp dụng): EN sơn nickel không điện trên hồ sơ nhôm cho các ứng dụng chân không cao;Chất nhựa hình phẳng cho miếng mềm mỏng hoặc dày; tay cầm giữ tường cuối; và cấu hình h-bar kép để chế biến wafer phía sau.

Các thông số kỹ thuật:

1. Hộp nhôm quy trình: (Al, HC) 8 ′′ - 25 khe, khe nghiêng (Tiêu chuẩn).
2. Kích thước: chọn kích thước bìa (cao), bìa (dưới), tùy chỉnh H-BAR (dưới), H-BAR (cao).
3. nhôm, chống mòn, mịn màng, lớp phủ cứng.
4. rãnh mịn và hình dạng Vacuum lỗ thông gió ốc vít.
5Được thiết kế theo tiêu chuẩn SEMI.

Bao bì và vận chuyển:

1. Giới hạn về trọng lượng
Tổng trọng lượng của một gói đơn không được vượt quá 25 kg.
Dễ dàng để tải và thả, nó đáp ứng khả năng tải của các phương tiện vận chuyển khác nhau.
 

2. Thông số kỹ thuật kích thước
Kích thước hộp nên dưới 1,5 mét khối.
Băng nhựa, thép thùng, và các kích thước khác theo kích thước thực tế của hàng hóa được xác định.
Đảm bảo rằng bao bì có thể được tải trơn tru vào container, cabin hàng không, v.v.
 

3Quản lý tài liệu
Chuẩn bị giấy tờ vận chuyển, hóa đơn, danh sách đóng gói và các tài liệu cần thiết khác.
Thông tin tài liệu là đầy đủ và chính xác, phù hợp với hàng hóa thực tế.